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    DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀

    DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準。


    機械特性


    DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀

    一、概述

         DSP-STC2258型多功能數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準。 

    儀器成套組成由主機、選配的四探針探頭、測試臺等部分組成。 

    主機主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統組成。儀器所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入。具有零位、滿度自校功能、電壓電流全自動轉換量程、測試結果由數字表頭直接顯示。本測試儀特贈設測試結果分類功能,大分類10類。 

    探頭選配根據不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配專用探頭,也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。 

    測試臺選配一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺,也可選配SZT-D型測試臺以測試半導體粉末電阻率,選配SZT-G型測試臺測試橡塑材料電阻率。詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》 

    儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構緊湊、使用簡便等特點。

    儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。  

    二、基本技術參數

    1.測量范圍、分辨率(括號內為可向下拓展1個數量級) 
      電阻:10.0×10-6~200.0×103Ω,分辨率:1.0×10-6~0.1×103Ω 
         (1.0×10-6~20.00×103Ω,分辨率:0.1×10-6~0.01×103Ω)
      電阻率:10.0×10-6~200.0×103Ω-cm,分辨率:1.0×10-6~0.1×103Ω-cm

         (1.0×10-6~20.00×103Ω-cm,分辨率:0.1×10-6~0.01×103Ω-cm)

      方塊電阻:50.0×10-6~1.0×106Ω/□,分辨率5.0×10-6~0.5×103Ω/□

         (5.0×10-6~100.0×103Ω/□,分辨率0.5×10-6~0.1×103Ω/□) 

     2.材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定) 

    直徑:SZT-A圓測試臺直接測試方式Φ15~130mm,手持方式不限。

    SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限。

    長(高)度:測試臺直接測試方式H≤100mm,手持方式不限。 

      測量方位軸向、徑向均可。

    3.量程劃分及誤差等級

    滿度顯示200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 
    常規量程kΩ-cm/□kΩ-cm/□Ω-cm/□mΩ-cm/□---
    大拓展量程---kΩ-cm/□Ω-cm/□mΩ-cm/□mΩ-cm/□
    基本誤差±2%FSB
    ±4LSB
    ±1.5%FSB
    ±4LSB
    ±0.5%FSB±2LSB±0.5%FSB
    ±4LSB
    ±1.0%FSB
    ±4LSB

      4.工作電源220V±10%,f=50Hz±4%,PW≤5W 

      5.外形尺寸:245mm(長)×220mm(寬)×95mm(高)

       凈重:≤1.5~2.0kg 


    機械規格



    裝配一覽表


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